電子線描画装置使用再開のお知らせ
冷却装置の代替機との交換が終了しました。
立ち上げた電子銃が安定した明日17:00以降に使用を再開します。Electron Beam Lithography System restoration
Replacement of the cooling system with an alternative unit has been completed.
We will resume use after 5:00 p.m. tomorrow, when the electron gun has stabilized.
電子線描画装置使用停止のお知らせ(6/17-)※6/22追記
電子線描画装置使用停止のおしらせ
トラブル：冷却装置の異常及び真空度の低下
対応：メーカーに問い合わせ中
停止期間：未定6/22追記：冷却装置の交換作業を検討しております。
先ずは代替機の用意をメーカーに依頼する予定です。Stop using Electron Beam Lithography System
Corresponding: Cooling system malfunction and decrease in vacuum
Stop period: undecided
汎用真空蒸着装置使用再開のお知らせ
汎用真空蒸着装置使用再開のおしらせ
拡散ポンプの洗浄及びオイル交換の実行。
真空引きが行えることを確認しました。汎用真空蒸着装置の利用を再開します。
Vacuum Vapor Deposition System (general purpose)restoration
Vacuum Vapor Deposition System (general purpose)has been repaired.
汎用真空蒸着装置使用停止のお知らせ(5/20-)
汎用真空蒸着装置使用停止のおしらせ
トラブル：真空度が上がらない
対応：ロータリー、油拡散ポンプの点検
停止期間：来週復旧予定Stop using Vacuum Vapor Deposition System (general purpose)
Corresponding: The vacuum does not increase.
Stop period: Scheduled to be restored next week
イエロールーム利用停止のお知らせ(5/14)
クリーンルーム利用停止のお知らせ
イエロールーム空調機部品交換作業のため、
下記の日程でイエロールームの利用を停止させていただきます。停止期間：5月14日(金) 9:00～17:00
Notice of no entry Lithography Room for air conditioner construction
Stop using lithography room equipment
for air conditioner construction.Date : Friday, May 14, 9:00 ～17:00
電子線描画装置メンテナンス終了のお知らせ
電子線描画装置メンテナンス終了のお知らせ
電子線描画装置のメンテナンス作業が終了しました。
本日より利用を再開いたします。End of Electron Beam Lithography System maintenance
Electron Beam Lithography System maintenance is finished.
ECRスパッタ装置利用再開のお知らせ
ECRスパッタ装置利用再開のおしらせ
コイル電源の交換作業が終了しました。
利用を再開いたします。ECR restoration
ECR has been repaired.
電子線描画装置メンテナンスのお知らせ(3/1-3/12)
電子描画装置は、メンテナンスのため以下の期間停止します。
期日 ：2021年3月1日（月）～ 3月12日(金)
目的 ：電子銃の交換
Electron beam drawing equipment is stopped the following period for maintenance.
A fixed date : Monday, March 1, 2021-Friday, March 12
The purpose : Exchange of an electron gun
ECRスパッタ装置利用停止のお知らせ(3/1 8:00- 3/2 17:00)
ECRスパッタ装置利用停止のおしらせ
コイル電源の交換作業のため、下記の期間利用を停止いたします。
停止期間：3/1 8:00 – 3/2 17:00
Stop using ECR
We will stop using ECR during the following periods for replace coil power supply
Date: Monday, March 1, 8:00 ~ Tuesday, March 2, 17:00
デジタルマイクロスコープ(DSX-500)復旧のお知らせ
デジタルマイクロスコープ(DSX500)復旧のおしらせ
点検に出していたデジタルマイクロスコープが返却されました。
使用を再開いたします。Digital Microscope restoration
Digital Microscope has been repaired.
Resume use.